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                      泽一专业生产罗茨真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵等设备

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                      干式真空泵

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                      干式真空泵
                      应用
                      干式真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
                      1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
                      2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
                      3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;
                      4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
                      5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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